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Suche nach: Schlagwort = Mikrowellenplasma und Sammlung = ULB Düsseldorf

Aufbringung von Siliziumoxidschichten durch Plasma-CVD und Anwendung auf Beschichtungen in einer Plasma-Wirbelschicht
Bayer, Christian
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1998
Großvolumige 2,45-GHz-Mikrowellenplasmaquelle nach dem Schlitzantennenprinzip (SLAN)
Werner, Frank
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1997